壹、儀器設備
一、場發射電子顯微鏡
1. 英文名稱：JEOL JSM-6700F Field Emission Scanning Electron Microscope
2. 中文名稱：JEOL JSM-6700F 場發射掃描式電子顯微鏡
3. 重要規格：
（1）電子槍冷陰極型式
（2）解析度 1.0 nm（15KV）2.2 nm（1KV）
（3）電子槍真空度 10-8 Pa 以下
（4）倍率 25 至 650,000 倍
（5）加速電壓 0.5 to 30 KV
（6）探針電流 10-13 to 2×10-9 A
（7）試片大小限制 直徑 Φ25 mm × 高度 10 mm
（8）試片載台 中心式試片台、X-Y移動範圍：0 mm x 50 mm、旋轉範圍：360°、工作距離：1.5 mm to 25 mm、傾斜角度：-5° to +60°
（9）馬達驅動載台 3軸（X,Y,R）
（10）影像輸出 儲存為*.bmp或 *.jpg或*.tif等電子圖檔 video printer 輸出
4. 儀器說明：
（1）購置年月：2007年3月
（2）電子顯微鏡主要是由電子槍 （Electron Gun）發射出高加速電壓之入射電子束，經過一組磁透鏡聚焦（Condenser Lens）聚焦後，用遮蔽孔徑（Condenser Aperture）選擇電子束的尺寸（Beam Size）後，通過一組控制電子束的掃描線圈，再透過物鏡（Objective Lens）聚焦，打擊在試片後，產生相關二次訊號來分析各種特性，一般的二次訊號包括直射電子、散射電子、二次電子、背向散射電子、Auger電子及X射線等訊號， 然後再將這些訊號經由適當之檢測器（Detector）接收後，經放大器（Amplifier）放大，然後送到顯像管（Braun Tube）上成像。掃描式電子顯微鏡由於景深（Depth of Focus）大，對於研究物體之表面結構功效特別顯著，例如材料之斷口、磨損面、塗層結構、夾雜物等之觀察研究。場發射掃描式電子顯微鏡除了跟傳統掃描式電子顯微鏡相同地可觀察物體之微結構外，它由於高電場所發射之電子束徑小，亮度高，具有傳統掃描式電子顯微鏡所明顯不及之高解析度，其解析度可高達1.0 nm（15 KV）、2.2 nm（KV），另可在低電壓（可低至0.5 KV）下操作，具直接觀察非導體之功能。本儀器之製造廠商及型號為日本 JEOL JSM-6700F 冷陰極（Cold Cathode）場發射掃描式電子顯微鏡。冷陰極場發射電子槍較其他熱場發射（Thermal）及蕭基（Schottky）電子槍而言，其優點是電子束與能量散佈相當小，且在超高真空下操作，解析度佳。
貳、服務項目
各種材料（包含高分子、生醫材料、金屬、電子與陶瓷材料）試片之顯微結構觀察及照相，二次電子影像（SEI及LEI），背向散射電子影像（BEI），但磁性材料（含鐵、鈷、鎳成分）及粉體材料恕不受理。
參、申請服務辦法
開放時段：
週一至週五上午9:00~晚上21:00，每兩小時為一個時段。假日機器保養及測試，不對外開放。
注意事項：
1. 儀器之使用以實驗室教授為申請單位，時間排定後有任何問題請於上機前一天通知取消，否則費用照計。
2. 網路預約方式：每星期一0:00起可預約下星期之時段。
3. 具有執照資格之同學，每次最多可申請三個單元（2小時）上機時間，待每星期三中午後，若尚有時段方可再行預約。
4. 具有磁性材料（含鐵、鈷、鎳成分）及粉體之材料，恕不受理。
5. 由於電子槍須在超高真空下操作，為防止試片上吸附水氣及雜物影響觀察，試片最好加熱烘烤後，再置入試片室中，因此無法烘烤之試片請事先說明。未處理之試片可能無法觀察到超高解析影像。
6. 生物試片請先自行脫水乾燥。
7. 不導電或低導電性材料可先使用白金濺鍍機濺鍍。
8. 使用者有義務 保持整個儀器室及機件周邊之清潔。
9. 使用記錄簿請確實填寫。
一、校內人員
（一） 高分子所 / 化工系（所）成員
• 每時段 2 小時： 1000 元
• 白金濺鍍機：每 30秒 200 元累計，不足以 30 秒計費
• video printer輸出：每張 100 元
• 影像檔：每一影像檔 20 元
（二）本校其他單位人員
• 每時段 2 小時： 2000 元
• 白金濺鍍機：每 30 秒 400 元累計，不足以 30 秒計費
• video printer 輸出：每張 100 元
• 影像檔：每一影像檔 20 元
二、校外人員
• 每時段 2 小時： 4500 元
• 白金濺鍍機：每 30秒 600 元累計，不足以 30 秒計費
• video printer 輸出：每張 100 元
• 影像檔：每一影像檔 20 元
三、以上收費標準不包含代為操作費用。如需操作人員代為操作，每時段 2 小時：2000 元
備註：EDX收費標準
一、校內人員
（一） 高分子所：若需使用EDX分析，每點加收 100 元。
（二）本校其他單位人員 ：若需使用EDX分析，每點加收 300 元。
二、校外人員：EDX分析每點加收：500 元
伍、聯絡人
SEM服務聯絡人：陳昱愷同學 r12549013@ntu.edu.tw
儀器放置地點：台灣大學高分子科學與工程學研究所B101室
＊當您使用過本儀器後若有任何建議或有所批評指教的地方，請向負責教授反應，謝謝。
陸、使用資格認定：
一﹑ 前言
為充分服務使用者，發揮儀器效能，以疏解日益增多的服務需求，並收人才訓練之效，特訂定本辦法。
二﹑資格之認定標準
A級：可完全自行操作之使用者，白天上班時間或夜間假日皆可使用。
B級：可於白天上班時間使用，但僅限簡易之操作。
C級：於白天上班時間，全程由技術人員代為操作。
三﹑ A級執照訓練細則
培訓資格：
1：修習過專業電子顯微鏡課程且成績及格之高分子所合聘教授研究生。
2：儀器管理人員做過筆試考核通過者。
儀器訓練：
1：具有使用資格之研究生，可申請儀器訓練。
2：儀器訓練由儀器管理人員負責進行，或由各實驗室A級使用者代為訓練後與管理者申請檢定。
3：儀器訓練每學年一梯次，同實驗室者不得重複報名。
學習時間每週兩小時，以10次為限，若10次內無法通過執照考核，將待別梯次重新申請儀器訓練。
檢定考試：
檢定考試包含口試與操作考試兩部份，考試時間為1小時，可視情況予以延長，鑑定考試未通過者，需等三週後方可在申請考核。
口試：儀器基本原理與緊急狀況之處理。
操作考： alignment步驟與試片影像拍攝之流程
四﹑ B級執照訓練細則
培訓資格同A級執照，參加過3次以上之儀器訓練講習者，經儀器管理人員核可獲B級執照認定。
B級操作者晉升A級之辦法（實際操作20小時並與管理者提出申請）。
五﹑ C級執照訓練細則
ㄧ般儀器預約使用者皆為C級執照。
六﹑ 使用者須知
使用前需確認儀器狀況正常方可上機使用，使用後請務必詳細填寫使用記錄簿，若遇突發之狀況如停電，燈絲燒毀等也需詳細填寫上去說明情況。
若因人為之不當使用造成儀器之毀損，將視情況予以禁用一段時間，嚴重者，取消其使用執照。
